下载一种阵列基板及其制造方法的技术资料

文档序号:17142352

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本发明提供一种阵列基板及其制造方法,所述制造方法包括:在衬底基板表面形成栅极层;在所述栅极表面形成绝缘层;在所述绝缘层表面形成具有分隔部的多晶硅层;在所述具有分隔部的多晶硅层表面形成源极漏极层,使所述源极漏极层不直接与所述多晶硅层接触。通过...
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