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描述了一种用于使甲硅烷分解的过程，其中，使含甲硅烷的气流在回路系统中循环，所述回路系统包括用于使存在于所述气流中的甲硅烷分解的反应器。所述过程使气流供给到反应器中并使气流与反应器内的加热到高温的表面接触。在所述表面处，存在于气流中的甲硅烷的...
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