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本申请公开一种CMP模型参数优化方法和装置。该方法首先确定CMP模型的待优化参数，进而基于该CMP模型预测研磨芯片的芯片参数，得到芯片预测参数并获取与芯片预测参数对应的实测参数，从而确定PMO优化算法的目标函数，以基于该目标函数，按照PMO...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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