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含有胺化合物的铟电镀组合物和铟电镀方法技术
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下载含有胺化合物的铟电镀组合物和铟电镀方法的技术资料
文档序号:17133077
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一种铟电镀组合物,其含有痕量的胺化合物以电镀基本上无缺陷的均匀铟,所述铟具有光滑表面形态。铟电镀组合物可以用于在各种衬底(如半导体晶片)的金属层上电镀铟金属以及用作热界面材料。...
该专利属于罗门哈斯电子材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗门哈斯电子材料有限责任公司授权不得商用。
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