下载酸性蚀刻液再生处理系统的技术资料

文档序号:17133060

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本发明公开了一种酸性蚀刻液再生处理系统,涉及蚀刻技术领域,包括:电解再生装置、吸收再生装置、水吸收装置、碱液吸收装置和氧化剂调配装置;电解再生装置,分别与蚀刻产线以及吸收再生装置连接,并与蚀刻产线形成闭路循环结构;吸收再生装置,还分别与蚀刻...
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