下载一种常压冷等离子体沉积金属单质薄膜的方法的技术资料

文档序号:17133043

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本发明公开了一种常压冷等离子体沉积金属单质薄膜的方法,包括以下步骤:步骤一、混合气体被激发电离产生常压冷等离子体,常压冷等离子体在喷嘴的腔体中形成等离子体光焰;步骤二、金属化合物溶液雾化后进入喷嘴的腔体中;步骤三、在保护气体的环绕保护下,等...
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