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本实用新型公开了一种兼具独立和合并两种模式的双台面直写曝光机，包括基体、第一台面、第二台面、可拆卸的安装于第一台面和第二台面之间的连接块、对准系统和曝光系统。在利用所述兼具独立和合并两种模式的双台面直写曝光机对基板进行加工的过程中：若拆除所...
该专利属于苏州微影激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微影激光技术有限公司授权不得商用。

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