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用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板和X射线探测器制造技术
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下载用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板和X射线探测器的技术资料
文档序号:17114583
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本发明提供一种用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板及其X射线探测器,包括:基板、栅极布线、栅极绝缘层、有源层、源电极和漏电极、第一绝缘层、光电二极管、第二绝缘层、数据线、遮光金属层、透明电极层以及第三绝缘层,其中,光电二极管形成在像素区域中...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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