下载用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板和X射线探测器的技术资料

文档序号:17114583

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本发明提供一种用于X射线探测器的薄膜晶体管阵列基板及其X射线探测器,包括:基板、栅极布线、栅极绝缘层、有源层、源电极和漏电极、第一绝缘层、光电二极管、第二绝缘层、数据线、遮光金属层、透明电极层以及第三绝缘层,其中,光电二极管形成在像素区域中...
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