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本发明公开了一种静电放电保护电路及其制作方法,其制作方法包括提供一半导体衬底,在所述半导体衬底中形成阱;在所述阱上形成栅极;在所述阱中进行源漏区注入,形成源极和漏极;以及通过一特定掩模板对所述漏极进行ESD注入,在所述漏极下方形成ESD注入...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。