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本实用新型公开了一种烘干槽及槽式机台，该烘干槽包括具有容纳待烘干硅片的封闭容纳腔的槽体、设置于所述槽体侧部的至少一个热风管道及设置于所述槽体外部的至少一个抽风机，所述槽体的底部开设有抽风口，所述热风管道的出风端与所述槽体内部相连通，一个所述...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

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