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本发明涉及曝光装置、曝光方法以及物品制造方法。提供一种在曝光量的均匀化方面有利的曝光装置。一种曝光装置，在使基板(W)和原版(R)移动的同时针对每个被摄区域对基板(W)进行扫描曝光，所述曝光装置具有：整形部(117)，对曝光被摄区域的曝光光...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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