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玻璃基板及层叠基板制造技术
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文档序号:17103832
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本发明提供一种在将玻璃基板和含有硅的基板贴合的工序中气泡不易进入的玻璃基板。本发明涉及一种玻璃基板,是通过与含有硅的基板层叠而形成层叠基板的玻璃基板,所述玻璃基板的翘曲为2~300μm,由所述翘曲引起的倾斜角度为0.0004~0.12°。...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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