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本发明涉及一种基于体硅MEMS工艺的太赫兹波导双工器及其制作方法，属于太赫兹通信和成像技术领域。太赫兹波导双工器是空心腔体结构，采用体硅MEMS工艺制备，包括第一波导带通滤波器、第二波导带通滤波器和T形波导结。第一波导带通滤波器的第一输出端...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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