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氧化物透明导电膜、光电转换元件以及光电转换元件的制造方法技术
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文档序号:17103010
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本发明的课题是提供一种光电转换元件,其是使用工业上有价值的在线式溅射法来使其具有的透明电极能发挥含钛的氧化铟膜具有的直至近红外区的透过率较高且导电性优良的特性。本发明的解決方法是通过在线式溅射法将由氧化铟或以氧化铟为主成分且以Sn/(In+...
该专利属于住友金属矿山株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友金属矿山株式会社授权不得商用。
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