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一种等离子体原子层生长装置，具备：能够从成膜容器内侧安装到气体导入开口部并包围气体导入开口部的开口的筒状绝缘性喷射器防粘构件；能够从成膜容器内侧安装到排气开口部并包围排气开口部的开口的筒状绝缘性排气防粘构件；能够安装到成膜容器的内壁侧的绝缘...
该专利属于株式会社日本制钢所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日本制钢所授权不得商用。

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