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本发明涉及的基板处理装置，包括：基板保持部，具有：板状保持台，对基板(10)以形成有微细图案(11)的面朝下的方式能够旋转地保持；多个保持销，设置在所述保持台上，在多个位置分别保持所述基板(10)的外周部；加热器，用于加热所述基板(10)；...
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