下载一种太阳能电池片制备方法的技术资料

文档序号:17102415

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本发明公开了一种太阳能电池片制备方法,包括镀膜前处理步骤、镀减反射膜步骤以及镀膜后处理步骤,其中,镀减反射膜步骤具体为:将经过镀膜前处理的硅片装入不成膜饱和的石墨舟内进行PECVD镀膜,石墨舟在使用70~90次后,进行1次清洗处理,清洗完成...
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