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一种基于硅纳米膜的柔性底栅多沟道晶体管及其制备方法，是以PET衬底作为模板，采用磁控溅射的方式在PET衬底上镀一层ITO导电薄膜，采用磁控溅射的方式在ITO薄膜上镀一层Al2O3/TiO2堆栈式氧化物作为晶体管的绝缘栅氧层，采用光刻工艺将S...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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