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本发明公开一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法及大气真空转换腔室，前者包括：S1：判断第一和第二大气真空转换腔室的第一位置第二位置是否都有晶圆，是则执行S2，否则执行S3至S4；S2：同时对第一和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；S3：同...
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