下载圆柱形溅射靶材的焙烧装置以及焙烧方法的技术资料

文档序号:17101007

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本发明提供一种制造长尺寸的圆柱形溅射靶的焙烧装置,该长尺寸的圆柱形溅射靶在利用溅射法制作在液晶显示元件和/或太阳能电池等中使用的透明导电膜的情况下使用。该焙烧装置的特征在于,设置了如下的构件:固定炉床,该固定炉床以直立的状态将长尺寸的圆柱形...
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