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一种多自由度夹心式微纳操作器及其位移输出控制方法,属于微纳操作技术领域,解决了现有微纳操作器存在的工作频率范围窄、输出力小和难以微型化的问题。所述微纳操作器:m层压电陶瓷片堆叠且径向固定在基座与前端盖之间,压电陶瓷片沿圆周方向分为若干个极化...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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