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本发明属于涂胶与光刻胶工艺的排废领域，具体地说是一种多个匀胶单元的排废系统，匀胶单元为多个、均布于主体安装板上，每个匀胶单元外均设有收集杯，集液盒位于各匀胶单元的一侧，各匀胶单元的背喷排废口、去边排废口以及各收集杯的排废口分别与集液盒密封连...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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