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本发明涉及一种金属构件、其制造方法及具有金属构件的处理室，尤其涉及一种如下的金属构件、其制造方法及具有金属构件的处理室：去除构成使用在显示器或半导体制造制程的金属构件及具有金属构件的处理室的材质的铝合金的添加成分中的存在于表面的添加成分，之...
该专利属于ABM股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ABM股份有限公司授权不得商用。

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