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本发明涉及一种利用固相反应技术制备Cu/Ti非晶多层膜的方法。Cu/Ti多层膜由磁控溅射方法制备，利用真空退火工艺对沉积态多层膜进行退火处理，使其发生固相反应。通过控制调制周期和退火温度，实现了Cu/Ti多层膜由晶态结构向非晶态结构转变。本...
该专利属于中国人民解放军陆军装甲兵学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军陆军装甲兵学院授权不得商用。

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