下载一种散热类金刚石薄膜材料的制备方法的技术资料

文档序号:17090399

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本发明公开了一种散热类金刚石薄膜材料的制备方法,该工艺利用25%H2O2处理薄膜衬底,将镍粉、乙酸乙酯、四氢呋喃、乙酸戊酯、丙二醇丁醚高温辊炼成涂覆表层,然后通过真空离子镀膜机将石墨、二氧化硅、云母片、氧化铝混合物形成镀膜表层,得到散热类金...
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