温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种真空吸附晶圆的装置，包括空压机、晶圆托盘、真空泵、气动控制阀，气动控制阀包括厂务真空接入端、气动执行机构端、晶圆吸附端，厂务真空接入端通过第一真空软管与真空泵连通，气动执行机构端通过第二真空软管与空压机的出气口连通，空压...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。