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本发明提供了一种阻尼可调的精密直驱气浮平台，平台的气浮左支承机构、气浮右支承机构与大理石底座固定连接，工作台与气浮左支承机构、气浮右支承机构连接；光栅读数头固定安装在工作台侧面，光栅尺与气浮右支承机构固定连接；直线电机安装过渡板连接在工作台...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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