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本实用新型提供一种镓舟支撑结构，所述镓舟支撑结构至少包括：反应腔、设置在所述反应腔内壁上的支撑环以及固定在所述支撑环上的镓舟本体；所述镓舟本体包括镓舟腔体和气体流出管，所述气体流出管通过所述镓舟腔体底部与所述镓舟腔体连通；所述镓舟腔体底部具...
该专利属于镓特半导体科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镓特半导体科技（上海）有限公司授权不得商用。

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