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文档序号:17057236

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一种检测系统,用以检测薄膜,其包含线扫描相机、光源装置、遮光单元及载运装置。光源装置对应位于线扫描相机的下方,光源装置包含有出光面。遮光单元设置于光源装置的出光面上,光源装置的光束仅能通过遮光单元的狭缝射出于遮光单元。载运装置位于线扫描相机...
该专利属于香港商微觉视检测技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过香港商微觉视检测技术股份有限公司授权不得商用。

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