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文档序号:17056335
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目的在于提供一种在不从水平方向与薄板状被研磨物的侧端部等凸状曲面部抵接的情况下不会施加过大的负荷的圆板状研磨垫。根据本实用新型,提供一种研磨垫,所述研磨垫是一边以中心轴线(A)为中心旋转一边对被研磨物(W)的侧端部进行研磨的圆板状研磨垫(1...
该专利属于富士纺控股株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士纺控股株式会社授权不得商用。
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