下载用于高温应用的基于碳化硅的场效应气体传感器的技术资料

文档序号:17044228

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一种用于检测气体混合物中气态物质存在的场效应气体传感器,该场效应气体传感器包括:SiC半导体结构;覆盖SiC半导体结构的第一部分的电子绝缘层;与SiC半导体结构通过电子绝缘层至少部分分离的第一接触结构;以及导电地连接于SiC半导体结构的第二...
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