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一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置制造方法及图纸
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下载一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置的技术资料
文档序号:17027124
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本实用新型涉及金刚石膜生长领域,尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括:底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座,具体结构如下:主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合,主齿轮上方依次为发条组件、旋钮,发条组...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。
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