一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。本实用新型专利技术结构简单、成本低廉，制备出的金刚石刀具涂层厚度均匀、金刚石薄膜质量高。

【技术实现步骤摘要】
一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置
本技术涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。
技术介绍
金刚石是自然界中最硬的物质，摩擦系数低，导热性高及优异的化学稳定性等特殊性能使其成为切削工具理想的材料。但是，单独使用金刚石很脆，无法进行高强度的加工，且单晶金刚石刀具因成本高和抗冲击性差的软肋导致其应用领域受到限制。而与之性能相似，但价格低廉的金刚石薄膜却有着更大的发展空间。目前，热丝CVD法是最为普遍也是最为成熟的制备金刚石涂层刀具方法，由于热丝法设备造价便宜、可控性高，是目前工业应用中的主要方法，制备CVD金刚石涂层刀具的一大关键技术是提高金刚石薄膜的质量和均匀性，而如何使批量的杆刀在上方和两侧都分布热丝的复杂工况下全部自旋转起来，是解决这一关键技术的核心部分。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，使批量的杆刀在上方和两侧都分布热丝的复杂工况下全部均匀地自旋转起来。本技术的技术方案：一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。

【技术特征摘要】
1.一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。2.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置，其特征在于，在底座的上部设置压盖，发条组件、轴承在压...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜辛，刘鲁生，黄楠，杨兵，王宜豹，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：新型
国别省市：辽宁,21