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本发明涉及一种用于托持、定位和/或移动物体的装置，所述装置包含以下：‑基座(30)和可相对于基座移动的支撑件(50)，‑至少一个磁性轴承(10、100)，用于在基座与支撑件之间产生承载力或托持力(Hv、Hh)，利用磁性轴承以非接触方式将支撑...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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