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本发明公开一种OLED背板制作方法,其包括以下步骤,在玻璃基板上形成半导体层并进行图案化工艺;在半导体层上依次形成栅极绝缘层、栅极层、层间绝缘层、源漏金属层和平坦层;对层间绝缘层的位于源漏金属层覆盖范围之外且位于平坦层覆盖范围之外的部分进行...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种OLED背板制作方法,其包括以下步骤,在玻璃基板上形成半导体层并进行图案化工艺;在半导体层上依次形成栅极绝缘层、栅极层、层间绝缘层、源漏金属层和平坦层;对层间绝缘层的位于源漏金属层覆盖范围之外且位于平坦层覆盖范围之外的部分进行...