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本发明提供一种氧化物薄膜晶体管及其制备方法，制备方法包括步骤：提供基板，在基板表面设置第一金属层；采用第一道光罩制程形成栅极及信号线；在基板暴露的表面、栅极表面及信号线表面依次形成栅极绝缘层、有源层及刻蚀阻挡层；采用第二道光罩制程使部分信号...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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