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本发明涉及一种接近式曝光和光配向一体装置、光配向方法及曝光方法。一种接近式曝光和光配向一体装置，包括光源、依次置于光源光路方向的：光反射滤光机构、蝇眼透镜组、球面反射镜、反射镜、掩模台以及带有能量传感器的工件台；在蝇眼透镜组和掩膜台之间还设...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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