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本发明提供一种模具、压印方法、压印装置和用于制造半导体制品的方法。该用于压印装置的模具包括形成有图案的图案部分和围绕图案部分的周边部分，其中，周边部分配设有遮光部分，该遮光部分阻挡用于固化压印材料的固化光并使用于对检测目标进行检测的检测光透...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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