下载一种小芯片的吸取装置的技术资料

文档序号:17005575

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本实用新型涉及一种小芯片的吸取装置,包括吸取平台和顶针;所述吸取平台上设有若干个真空孔,用于吸附芯片;所述吸取平台的中部开有回型真空槽,且回型真空槽的内外边界的形状均为正方形,上述外边界的面积比芯片大,内边界的面积比芯片小;所述回型真空槽内...
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