下载一种复制制造Wolter-I型反射镜的工艺的技术资料

文档序号:17005168

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本发明公开了一种复制制造Wolter‑I型反射镜的工艺,其工艺流程为:复制所用的精密芯轴制造→PVD工艺涂敷DLC膜层→PVD工艺涂敷金膜反射层→电铸镜壳→对镜壳表面修整→利用脱模装置在低温制冷室内将反射镜从芯轴上释放→清洗反射镜表面。本发...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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