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一种硅片硬度测试机制造技术
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文档序号:17003867
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本发明公开一种硅片硬度测试机,所述底座,所述底座上端面的中间处设置有用于承载硅片的底板,且底座上设置有门字形结构的框架,所述框架可前后移动的设置于底座上,所述框架的横梁上可上下移动的设置有装夹机构,所述装夹机构由驱动装置驱动,所述装夹机构上...
该专利属于崔敏娟所有,仅供学习研究参考,未经过崔敏娟授权不得商用。
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