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本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，解决现有技术中的炉内硅棒直径增长采用人工估计存在偏差，对沉积效率的优化带来困难的问题，提供一种硅棒直径检测装置及48对棒还原炉。本实用新型提供的硅棒直径检测结构，距离传感器用于检测距离传感器与多晶硅棒外周面...
该专利属于亚洲硅业（青海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚洲硅业（青海）有限公司授权不得商用。

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