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本实用新型提供一种薄膜沉积温度的调整装置，包括真空室、第一电源、第二电源，所述真空室内设置有制品架，两端分别设置有与第一电源相连接的阴极部分和阳极，所述阴极部分和阳极之间使用时有直流电弧弧柱，所述真空室外侧的两端分别设置有与第二电源相连接的...
该专利属于洛阳誉芯金刚石有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳誉芯金刚石有限公司授权不得商用。

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