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本实用新型公开了一种便于对石墨烯生长薄膜张力进行检测的横向布置的多腔室石墨烯连续生长设备。该石墨烯连续生长设备，包括用于放料冷却腔和收料冷却腔抽真空的真空泵、放料冷却腔、收料冷却腔以及均横向布置的第一高温工艺腔、第二高温工艺腔和过渡腔；过渡...
该专利属于重庆墨希科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆墨希科技有限公司授权不得商用。

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