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本实用新型涉及硅片清洗领域，公开了一种新型水洗装置。所述水洗装置包括水洗槽和提拉组件；所述提拉组件包括花篮固定板、升降杆和用于控制升降杆上升和下降的线性模组；所述升降杆包括X轴方向的第一支杆和Y轴方向的第二支杆，所述第二支杆一端与所述线性模...
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