专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
山东大学
>
一种二自由度微纳定位平台及应用制造技术
>技术资料下载
下载一种二自由度微纳定位平台及应用的技术资料
文档序号:16973715
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种二自由度微纳定位平台及应用,它解决了现有技术中微纳定位平台行程小,定位精度低的问题,具有行程大,分辨率高,压电叠堆预紧力可调的有益效果,其方案如下:一种二自由度微纳定位平台,包括:粘滑驱动器,包括框体,框体内设置扭转单元,扭...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。