下载一种二自由度微纳定位平台及应用的技术资料

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本发明公开了一种二自由度微纳定位平台及应用,它解决了现有技术中微纳定位平台行程小,定位精度低的问题,具有行程大,分辨率高,压电叠堆预紧力可调的有益效果,其方案如下:一种二自由度微纳定位平台,包括:粘滑驱动器,包括框体,框体内设置扭转单元,扭...
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