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提供了一种基板处理装置和一种基板处理方法。该基板处理装置包括：工艺腔室；位于工艺腔室的内部空间以支撑基板的支撑构件；设置成与工艺腔室的内部连通的排气管线；向排气管线提供吸气压力的排气构件；以及控制器，该控制器用于将基板处理中执行的基板处理步...
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