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本发明提供了一种二极管的金属电极、制备方法和二极管，其中，制备方法包括：在完成二极管的半导体功能层的制备后，在所述半导体功能层的正侧形成合金层；对所述合金层进行退火处理，以形成所述半导体功能层和所述合金层之间的金属硅化物层；在形成所述金属硅...该专利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司授权不得商用。