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本发明涉及功率器件的失效分析技术领域，是一种功率器件的失效定位方法。漏电流增大是功率器件失效的主要电学表现形式之一，会大幅度减小器件的使用寿命。本发明提供了一种功率器件的漏电流定位方法。方法包括：对失效功率器件样本进行开封；将开封后的功率器...
该专利属于上海北京大学微电子研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海北京大学微电子研究院授权不得商用。

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