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本发明提出一种多通道显微镜半导体综合测试系统，是将红外发光显微技术（EMMI）、激光束诱导电阻率变化测试技术（OBIRCH）、微探针检测技术、扫描电子显微镜技术（SEM）结合在一起形成一种多通道显微镜半导体综合测试系统。利用OBIRCH方法...
该专利属于上海北京大学微电子研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海北京大学微电子研究院授权不得商用。

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